周期性梯度富硅SiN<em> <sub>x</sub></em>薄膜的微结构与发光特性

周期性梯度富硅SiN _x薄膜的微结构与发光特性

陈小波^1,², 杨雯¹, 段良飞¹, 张力元¹, 杨培志¹

Microstructure and Luminous Property of Periodical Gradient Si-rich SiN _x Thin Films

CHEN Xiao-Bo^1,², YANG Wen¹, DUAN Liang-Fei¹, ZHANG Li-Yuan¹, YANG Pei-Zhi¹

图 7 单层薄膜和梯度薄膜在室温下的PL谱
Fig. 7 PL spectra of single-layer film Sample 1 and gradient-layer film Sample 2 under room-temperature